| 3141(矽) | 0 ~ 1000 ppb、0 ~ 5 ppm、0 ~ 150 ppm、0 ~ 300 ppm |
| 3142(磷) | 0 ~ 5 ppm、0 ~ 20 ppm、0 ~ 150 ppm、0 ~ 300 ppm |
| 3144(聯氨) | 0 ~ 100 ppb、0 ~ 500 ppb |
| 3145(銅) | 0 ~ 100 ppb、0 ~ 3 ppm |
| 3146(氨) | 0 ~ 1000 ppb |
| 3148(鐵) | 0 ~ 250 ppb、0 ~ 500 ppb、0 ~ 5 ppm |
| 3149(乙二醇) | 0 ~ 15 ppm、0 ~ 150 ppm |