• 臭氧產生方法：185nm UV光分解O₂
• 臭氧濃度範圍：0 ppb及30 ppbv ~ 1,000 ppbv
  
• 輸出準確度及精確度：臭氧濃度的2 ppbv或2%
  
• 輸出臭氧濃度及改變的反應時間：達到改變濃度的95%需要30秒
  
• 流量：3.0 L/min
  
• 電源：12 VDC 或 120/240 VAC，18 W
• 尺寸：9 x 21 x 29 cm 
  
• 重量：2.6 kg
  
• 具類比輸出、可編程訊號輸出
• 具序列通訊(Serial Connection)可做遠端操控及系統診斷